انواع دستگاه های کاشت یون بر اساس روش کاشتدر فرآیند کاشت یون، یون ها به سمت قطعه هدف شتاب گرفته و پروفیل مناسبی از ناخالصی را در داخل شبکه ی میزبان ایجاد می کنند. دو روش عمده برای عمل کاشت یون می توان برشمرد …