خصوصیات محفظه یونی در زمان کاشتمحفظه ویفر جهت یک فرآیند بر روی یک ویفر و یا چند ویفر، وابسته به چگالی توان پرتو و جریان یون ها ساخته می شود. در فرآیند گروهی، معمولا محفظه ویفر شامل چندین ویفر که روی …