بررسی منبع یون در دستگاه کاشت یونهدف از یک منبع یون، ساخت و نگهداری غلظت بالایی از یون ها در مخفظه ی مناسب می باشد. این یون ها، متمرکز شده و به شکل یک اشعه درآمده و می توانند از منبع خارج …