فعال سازی نوترونی و آنالیز میکروپروب الکترونی در ارزیابی شیمیایی
هدف از این آزمایشات درصد مواد مختلف به کار رفته در ویفر از جمله ناخالصی ها، اکسید، فلز و… می باشد. روش های مرسوم این نوع ارزیابی عبارت اند از: 1-تحلیل فعال سازی نوترونی 2-آنالیز میکروپروب …