بررسی نقشه برداری اشعه X و الکترونی در مدارات مجتمعدر ارزیابی ساختاری جهت تعیین نقص های ساختار کریستالی روش های متفاوتی به کار می رود. اولین مورد زدایش است که در مطلب قبلی به آن اشاره شد.